什么是光学扫描振镜？

激光振镜、扫描振镜。这是一种高速扫描的器件，在激光打标设备上早已成熟应用。它机构简单体积小（无正弦机构），定位精度高（定位角偏差约2’’），扫描速度极快（毫秒级），成本低。据有关资料介绍，核聚变中高速多波段紫外光谱检测已有使用。

光学振镜工作原理

振镜是一种优良的矢量扫描器件。它是一种特殊的摆动电机，基本原理是通电线圈在磁场中产生力矩，但与旋转电机不同，其转子上通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩，大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的角度时，电磁力矩与回复力矩大小相等，故不能象普通电机一样旋转，只能偏转，偏转角与电流成正比，与电流计的相似，故振镜又叫电流计扫描器(galvanometric scanner)。

图中， a ,b 是振镜，通过转动振镜a和b可以使入射光束投影到XY平面的指定位置。

具体x,y的坐标计算公式如下：

设 x 轴和y 轴反射镜之间的距离为e , y 振镜的轴线到视场平面坐标原点的距离为 d ,当 x , y 轴的光学偏转角分别为θx和θy时，视场平面上相应光点坐标为( x , y) ,且当 x = y = 0 时,θx=θy=0，则

振镜a,b的偏转角θx 和θy与振镜a,b的控制电压Vx和Vy的关系为：

θx=kx*Vx

θy=ky*Vy

其中，kx、ky是系数。

所以通过控制Vx和Vy就可以控制振镜a,b的偏转角度。

光学振镜系统

激光振镜、扫描振镜系统是由驱动控制器与振镜电机模组构成的一个高精度、高速度伺服控制系统。

激光振镜、扫描振镜系统一般是由处理器、功率放大器、振镜电机、光电传感器、信号解调器组成的闭环控制系统。

如下图：

振镜电机器件图如下所示：

其中，弹簧负载为施加复位力矩的机械扭簧机构。

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